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萬級凈化車間標準

世界各國均有自定規(guī)格,但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。

潔凈度

潔凈度10000級cleanliness class 10000(P2萬級實驗室即ISO7級)即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

壓差及溫濕度控制

溫度:干盤管系統(tǒng)控制。

濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量。

正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風量。

檢測標準

氣流速度及其均勻度檢測,是無塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

室內(nèi)潔凈度的檢測:潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計數(shù)器檢測。

自凈時間的檢測:通過確定自凈時間,查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

照度的檢測:照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

振動的檢測:振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。

溫、濕度的檢測:溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測無塵室中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內(nèi)空氣相對溫度,檢測回風溫度。

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