世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
溫度:干盤管系統控制。
濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量。
正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。
氣流速度及其均勻度檢測，是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
室內潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。
自凈時間的檢測：通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。
照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
振動的檢測：振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。