100級潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動，與流體力學的層流概念不太相同，具體講就是垂直層流側回風。和百級以上潔凈間所采用的混流或亂流方式（即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動）相比較，它具有效果完全、運轉迅速穩定、粉塵堆集與再飄浮極少，以及管理容易等優點，但是設備造價非常高，維護費用也很高。
粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數不能大于100個。
溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系統。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
由于無塵潔凈室的工作內容大多有精細的要求，而且又都是密閉性房屋，所以，對照明一向有很高的要求。主要有以下幾點：
局部照明，這是指為增加某一指定地點的照度而設置的照明。但在室內照明中一般不單獨使用局部照明。
混合照明，指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度應占總照度的10%-15%。
根據《潔凈廠房設計規范》編制組的調查，對工作認為比較合適的最低照度作了統計，其結果略高于150lx。因此，將一般照明的下限值定為150lx是合適的，雖然在300lx時有更高的工作效率。根據大量驗收測定發現，最低照度值達到200lx以上就比較困難，實際上150lx已相當亮了，因為平均照度要高于它很多.工作區內用平均照度意義不大，因為有若干點在150lx以下，就不適合工作。對于特別要求高照度操盤點可以采用局部照明，而不宜普遍提高整個車間的最低照度標準。除可利用局部照明外，必要時也可利用自然光，當平面上有外廊時就可以做到這一點。