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現假設對一臺常見的 Metone227B 作校正
•首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。
•首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預熱半小時。
•準備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
•將配好的標準液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。
•設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數
•取樣時間都設置為 00 ： 01 ： 00
•取樣次數都設置 03
•取樣模式都設置為 Auto
•間隔時間都設置為 00 ： 00 ： 05
•讀數模式都設置為 Cumulative
注：以上設置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。
•此時，打開 255 電源，調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態。
•此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結果，若在 20% 以內，視為合格。
•拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。
•以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。
